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低温泵的工作原理

低温泵的工作原理

  • 分类:行业动态
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  • 来源:
  • 发布时间:2021-01-20
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【概要描述】低温泵相信大家都不是很了解,其实它就是一个利用低温表面冷凝气体的真空泵设备,通常我们也叫它冷凝泵。低温泵因为可以最大限度的获得清洁真空,所以备受大家青睐,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产等各行各业中。接下来我们就一起来看看低温泵的工作原理吧!

低温泵的工作原理

【概要描述】低温泵相信大家都不是很了解,其实它就是一个利用低温表面冷凝气体的真空泵设备,通常我们也叫它冷凝泵。低温泵因为可以最大限度的获得清洁真空,所以备受大家青睐,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产等各行各业中。接下来我们就一起来看看低温泵的工作原理吧!

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低温泵相信大家都不是很了解,其实它就是一个利用低温表面冷凝气体的真空泵设备,通常我们也叫它冷凝泵。低温泵因为可以最大限度的获得清洁真空,所以备受大家青睐,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产等各行各业中。接下来我们就一起来看看低温泵的工作原理吧!

低温泵

低温泵的工作原理是:低温泵内设有极低温度的冷板,它可以使气体凝结,并保持蒸汽压力低于泵的极限压力,从而达到抽气作用。低温抽气主要体现在三方面,即低温冷凝、低温吸附和低温捕集。低温冷凝是指气体分子在冷板表面或冷凝在气体层上,让平衡压力和蒸气压基本保持一致。抽空气时,冷板温度不得低于 25K;抽氢时,冷板温度更低,低温冷凝可以让抽气冷凝层厚度达到10毫米左右。低温吸附是气体分子被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上,让吸附的平衡压力低于相同温度下的蒸气压力。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。低温捕集指的是抽气温度下不能冷凝的气体分子,被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。

一般说来,泵的极限压力与冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力大致一样。但由于被抽容器和低温冷板的温度的不同,泵的极限压力就高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器,泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。

以上就是关于低温泵的工作原理,希望对大家有多帮助!喜欢的话可以关注我们哦!

 


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