低温泵相信大家都不是很了解，其实它就是一个利用低温表面冷凝气体的真空泵设备，通常我们也叫它冷凝泵。低温泵因为可以最大限度的获得清洁真空，所以备受大家青睐，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产等各行各业中。接下来我们就一起来看看低温泵的工作原理吧！

低温泵的工作原理是：低温泵内设有极低温度的冷板，它可以使气体凝结，并保持蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气主要体现在三方面，即低温冷凝、低温吸附和低温捕集。低温冷凝是指气体分子在冷板表面或冷凝在气体层上，让平衡压力和蒸气压基本保持一致。抽空气时，冷板温度不得低于 25K；抽氢时，冷板温度更低，低温冷凝可以让抽气冷凝层厚度达到10毫米左右。低温吸附是气体分子被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上，让吸附的平衡压力低于相同温度下的蒸气压力。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。低温捕集指的是抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。

一般说来，泵的极限压力与冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力大致一样。但由于被抽容器和低温冷板的温度的不同，泵的极限压力就高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。

以上就是关于低温泵的工作原理，希望对大家有多帮助！喜欢的话可以关注我们哦！